Beam forming optical element for laser machining device e.g. for forming bores or holes in a substrate, uses refraction for altering beam intensity distribution

The optical element (220) has an input surface (224a) and an output surface which are each rotationally symmetrical to the optical axis of the optical element and which are curved relative to the latter within an input region (227) and an output region respectively, so that an input light beam (211) with an initial intensity distribution profile is refracted to provide an output light beam (221) having a constant intensity distribution within a target region at a given distance from the optical element. An Independent claim for a laser machining method is also included. Die Erfindung sschafft ein optisches Element 220 zur Veränderung der transversalen Itensitätsverteilung eines Lichtstrahls 211, wobei eine Homogenisierung der Intensitätsverteilung dadurch erzeugt wird, dass dem zentralen Bereich 212a des zu formenden Laserstrahls 211 infolge einer Refraktion durch das optische Element 220 eine zusätzliche Divergenz aufgeprägt wird, so dass die Intensitätsverteilung des transmittierten Laserstrahls eine gegenüber dem Eingangsprofil höhere Homogenität aufweist. Gemäß einem Ausführungsbeispiel werden schwache Randstrahlen 212b des zu formenden Lichtstrahls 211 von der optischen Achse des optischen Elements 220 weggebrochen und auf eine Strahlstoppvorrichtung 370 gelenkt. Die Erfindung schafft ferner ein Verfahren zum Bearbeiten von Objekten mittels Laserstrahlen, insbesondere zum Bohren von Löchern in Subtrate unter Verwendung des optischen Elements 220. Durch eine Variation des Abstands zwischen dem zu bearbeitenden Objekt und dem optischen Element 220 während einer Laserbearbeitung kann die Intensitätsverteilung des bearbeitenden Laserstrahls derart verändert werden, dass eine Vielzahl von verschieden geformten Löchern gebohrt werden kann.