Optische Vorrichtung mit einer Beleuchtungslichtquelle

Eine optische Vorrichtung dient zur Beleuchtung eines Objektes, das mit Hilfe einer entsprechenden Optik abgebildet werden soll. Sie weist eine nahe oder in einer Pupillenebene einer Beleuchtungsoptik angeordnete Beleuchtungslichtquelle (210) auf, welche ein Beleuchtungslichtbündel erzeugt. Die Bele...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	RENG, NORBERT, BADER, DIETER, WANGLER, JOHANNES
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Eine optische Vorrichtung dient zur Beleuchtung eines Objektes, das mit Hilfe einer entsprechenden Optik abgebildet werden soll. Sie weist eine nahe oder in einer Pupillenebene einer Beleuchtungsoptik angeordnete Beleuchtungslichtquelle (210) auf, welche ein Beleuchtungslichtbündel erzeugt. Die Beleuchtungsoptik ist zwischen der Beleuchtungslichtquelle (210) und dem Objekt angeordnet. Das in einem Beleuchtungszyklus eingesetzte Beleuchtungslichtbündel ist matrixartig zweidimensional aus einer Mehrzahl von Einzelbündeln zusammengesetzt. Ferner ist eine Steuereinrichtung (220) zur selektiven Erzeugung (216, 217) der Einzelbündel vorgesehen. Die Anwahl erfolgt dabei derart, daß die Form des Beleuchtungslichtbündels über die jeweils erzeugten Einzelbündel vorgebbar ist. Dies ermöglicht die rasche und variable Einstellung von an die jeweiligen Abbildungsanforderungen angepaßten Beleuchtungssettings.