Microchip-based chromatographic separation device has multiple independent stationary phase tracks of silicon or silicon dioxide and can be integrated into compact sensor element

A silicon wafer (10) has one or more, stationary phase, chromatographic tracks (11) of nano-/micro-porous silicon or silicon dioxide, typically of 30-35% porosity and 20-50 Microm pore diameter. The track compositions and operating conditions, e.g. temperature, may be the same or different. Es wird...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: RUDHARD, JOACHIM, LAERMER, FRANZ, HEYERS, KLAUS, NAGEL, SABINE, PANNEK, THORSTEN, ARTMANN, HANS
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:A silicon wafer (10) has one or more, stationary phase, chromatographic tracks (11) of nano-/micro-porous silicon or silicon dioxide, typically of 30-35% porosity and 20-50 Microm pore diameter. The track compositions and operating conditions, e.g. temperature, may be the same or different. Es wird eine chromatographische Trennvorrichtung (5) zur Trennung von in einer mobilen Phase wie einem Gas, einer Flüssigkeit oder einer superkritischen Phase befindlichen Komponenten mit Hilfe einer stationären Phase (11) vorgeschlagen, wobei die stationäre Phase (11) poröses Silizium oder poröses Siliziumoxid aufweist. Bevorzugt ist die Trennvorrichtung (5) eine mikromechanische Trennvorrichtung mit einem integrierten Sensorelement.