Verfahren zum Überwachen der Herstellung und zum Bewerten der Qualität einer Metallisierungsanordnung sowie zugehörige Erfassungsvorrichtung

Erläutert wird unter anderem ein Verfahren, bei dem ein Sollwert für den Temperaturkoeffizienten einer Metallisierungsanordnung vorgegeben wird (100). Nach der Herstellung (102) der Metallisierungsanordnung wird für die Metallisierungsanordnung ein Istwert des Temperaturkoeffizienten ermittelt (104)...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GLASOW, ALEXANDER VON, FISCHER, ARMIN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Erläutert wird unter anderem ein Verfahren, bei dem ein Sollwert für den Temperaturkoeffizienten einer Metallisierungsanordnung vorgegeben wird (100). Nach der Herstellung (102) der Metallisierungsanordnung wird für die Metallisierungsanordnung ein Istwert des Temperaturkoeffizienten ermittelt (104). Danach wird aufgrund eines Vergleichs von Istwert und Sollwert die Herstellung von Metallisierungsanordnungen überwacht (118).