Verfahren zur objektiven und genauen Dickenmessung von dünnen Filmen im mikroskopischen Maßstab

Verfahren zum Bestimmen der Dicke (102, 202, 302) eines Films (101, 201, 301), wobei das Verfahren umfasst: Präparieren einer Querschnittsprobe (106, 206, 306) des Films (101, 201, 301); Bestrahlen der Querschnittsprobe (106, 206, 306) des Films (101, 201, 301) mit einem Strahl (107, 207, 307) im We...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ROBILLARD, QUENTIN DE, SAAGE, HOLGER, ENGELMANN, HANS-JUERGEN, STEGMANN, HEIKO
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Verfahren zum Bestimmen der Dicke (102, 202, 302) eines Films (101, 201, 301), wobei das Verfahren umfasst: Präparieren einer Querschnittsprobe (106, 206, 306) des Films (101, 201, 301); Bestrahlen der Querschnittsprobe (106, 206, 306) des Films (101, 201, 301) mit einem Strahl (107, 207, 307) im Wesentlichen senkrecht zu einer Dickenrichtung des Films (101, 201, 301), um ein digitales Bild der Probe (106, 206, 306) bereitzustellen; Extrahieren eines Intensitätsprofils (313) aus dem digitalen Bild, im Wesentlichen parallel zu der Dickenrichtung; und Analysieren des Intensitätsprofils (313) des digitalen Bildes, um die Dicke (102, 202, 302) des Films (101, 201, 301) zu bestimmen.