CMOS-Prozeß-kompatible Hoch-DK Oberflächenbeschichtung zur kapazitiven Detektion und Stimulation biologischer Gewebe

Die Erfindung betrifft einen Biochip zur kapazitiven Stimulation und/oder Detektion biologischer Gewebe (14) mit DOLLAR A - einer Trägerstruktur (10); DOLLAR A - zumindest einer Stimulations- und/oder einer Sensoreinrichtung, welche in bzw. an der Trägerstruktur (10) angeordnet ist; DOLLAR A - zumin...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	THEWES, ROLAND, FROMHERZ, PETER, JENKNER, MARTIN, BIRKENMAIER, TAMARA, WERSING, WOLFRAM, GABL, REINHARD, EVERSMANN, BJOERN, SCHREITER, MATTHIAS
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BEER BIOCHEMISTRY CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE CHEMISTRY COMPOSITIONS THEREOF CULTURE MEDIA ENZYMOLOGY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING METALLURGY MICROBIOLOGY MICROORGANISMS OR ENZYMES MUTATION OR GENETIC ENGINEERING PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PHYSICS PROPAGATING, PRESERVING OR MAINTAINING MICROORGANISMS SPIRITS TESTING TRANSPORTING VINEGAR WINE
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft einen Biochip zur kapazitiven Stimulation und/oder Detektion biologischer Gewebe (14) mit DOLLAR A - einer Trägerstruktur (10); DOLLAR A - zumindest einer Stimulations- und/oder einer Sensoreinrichtung, welche in bzw. an der Trägerstruktur (10) angeordnet ist; DOLLAR A - zumindest einer dielektrischen Schicht (12), deren eine Schichtfläche an der Stimulations- und/oder Sensoreinrichtung angeordnet ist und deren gegenüberliegende Schichtfläche eine Stimulations- und/oder Sensorfläche zur kapazitiven Stimulation und/oder Detektion biologischer Gewebe (14) bildet; DOLLAR A wobei die dielektrische Schicht (12) TiO¶2¶ umfaßt. Biochip for capacitive stimulation and/or detection of biological tissues. The biochip has a carrier structure, at least one stimulation and/or sensor device, which is arranged in or at the carrier structure, and at least one dielectric layer, one layer area of which is arranged at the stimulation and/or sensor device and the opposite layer area of which forms a stimulation and/or sensor area for capacitive simulation and/or detection of biological tissues, wherein the dielectric layer comprises TiO2.