Interferometric measurement method for determining the shape or distance of object surfaces, whereby a single light source is used and phase and wavelength measurements carried out at two time points

Method in which frequency modulated light is generated and directed at a surface to be measured and a reference surface. The resultant light is combined to form an interference pattern that is measured by a photo-detector. Object surface distances are measured using the phase of the photo-detector signal (Ph) with the phase measured at at least two different time points together with the wavelength corresponding to the frequency modulation at those two points. The resultant measurements are evaluated. The invention also relates to a corresponding interferometer measurement arrangement. Die Erfindung bezieht sich auf interferometrisches Messverfahren zum Erfassen der Form oder des Abstandes von Oberflächen, bei dem Licht erzeugt, hinsichtlich seiner Frequenz moduliert, zum einen auf die Oberfläche geführt und zum anderen einer Referenzfläche zugeführt und zur Interferenz gebracht und zu einem Photodetektor geführt und zum Erfassen des jeweiligen Abstandes eine Phase des Photodetektorsignals ausgewertet wird, sowie auf eine interferometrische Messvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Ein einfacher, robuster Aufbau mit der Möglichkeit eine hochauflösende Messung bei großem Eindeutigkeitsbereich durchzuführen, wird dadurch erhalten, dass die Phase mindestens in zwei unterschiedlichen Zeitpunkten (t¶1¶, t¶2¶) mit den jeweils aufgrund der Frequenzmodulation zugehörigen Wellenlängen (lambda¶1¶, lambda¶2¶) betrachtet und der Auswertung zugeführt werden (Fig. 1).