Three-dimensional interferometric measuring method allows evaluation of depth information for interesting area of camera image selected via defined criteria

The interferometric measuring method scans the measured object (1.2) in the depth direction using the variation in the length of a light path in a reference arm (1.8) relative to the length of a light path in an object arm (1.7), the surface shape of the object determined using a camera (2) coupled to an image processor (3). The latter is used for selecting an interesting area within the overall 2-dimensional image provided by the camera, in dependence on defined criteria, with evaluation of the depth information solely for the selected area. An Independent claim for a 3-dimensional interferometric measuring device is also included. Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur dreidimensionalen interferometrischen Messung, bei dem ein Messobjekt (1.2) durch Ändern der Länge eines Lichtweges in einem Referenzarm (1.8) relativ zur Länge eines Lichtweges in einem Objektarm (1.7) in Tiefenrichtung abgetastet und die Oberflächenform mittels einer Kamera (2) und einer damit verbundenen Bildverarbeitungseinheit (3) bestimmt wird. Eine schnelle Messung wird dadurch erreicht, dass mittels der Bildverarbeitungseinheit (3) zunächst das gesamte von der Kamera (2) aufgenommene Bild zweidimensional hinsichtlich mindestens eines interessierenden Teilbereiches anhand mindestens eines vorgegebenen oder vorgebbaren Kriteriums untersucht wird und dass anschließend die Auswertung einschließlich Tiefenrichtung nur für den interessierenden Teilbereich durchgeführt wird (Fig.).