VAKUUM-VERDAMPFUNGSMETHODE

Es wird eine Vakuumverdampfungsmethode bereitgestellt, bei der das Fortschreiten der lokalen Verformung des Verdampfungsschiffchens so weit wie möglich eingeschränkt wird, um die Lebensdauer des Verdampfungsschiffchens zu verlängern.[Mittel zur Lösung]Das Vakuumverdampfungsverfahren umfasst einen Verdampfungsschritt, bei dem ein Verdampfungsschiffchen (3) verwendet wird, das Folgendes umfasst: einen Schiffchen-Hauptkörper (31) mit einem Aufnahmeteil (31a) eines Verdampfungsmaterials (Em) als Verdampfungsquelle (BS); und Elektroden-Montageplattenteile (33), die sich jeweils an beiden Enden des Schiffchen-Hauptkörpers nach außen erstrecken. Ein drahtförmiges Verdampfungsmaterial wird von oberhalb einer Bodenplatte des Schiffchen-Hauptkörpers, die den Aufnahmeteil des Verdampfungsmaterials definiert, so zugeführt, dass es mit der Bodenplatte in Kontakt kommt. Elektrischer Strom wird an beide Elektroden-Montageplattenteile angelegt, um den Schiffchen-Hauptkörper zu erhitzen, wodurch das Verdampfungsmaterial innerhalb des Aufnahmeteils verdampft wird. Das Vakuumverdampfungsverfahren umfasst ferner einen Verschiebungsschritt, bei dem ein vorderer Endteil (Em1) des drahtförmigen Verdampfungsmaterials kontinuierlich oder intermittierend relativ zum Schiffchen-Hauptkörper verschoben wird, während das drahtförmige Verdampfungsmaterial zugeführt wird. A vacuum evaporation method includes a vaporization step in which use is made of an evaporation boat including: a boat main body having a containing part of an evaporation material as an evaporation source; and electrode mounting plate parts respectively extending outward at both ends of the boat main body. A wire-shaped evaporation material is fed from above a bottom plate of the boat main body defining the containing part of the evaporation material, in a manner to come into contact with the bottom plate. Electric current is applied across both the electrode mounting plate parts in order to heat the boat main body, thereby evaporating the evaporation material inside the containing part. The vacuum evaporation method further includes a displacement step of continuously or intermittently displacing, while the wire-shaped evaporation material is being fed, a front end part of the wire-shaped evaporation material relative to the boat main body.