VERFAHREN ZUM BILDEN EINER SCHLEIFMITTELSCHLÄMME UND VERFAHREN ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN

Es wird ein Verfahren zum Durchführen eines Polierprozesses bereitgestellt. Das Verfahren kann umfassen: Bilden kugelförmiger Titandioxid-Nanopartikel, Überziehen der kugelförmigen Titandioxid-Nanopartikel mit einer organischen Beschichtung, Lagern der kugelförmigen Titandioxid-Nanopartikel zusammen...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	You, Sheng-Mu, Liu, Chi-Jen
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ADHESIVES BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMISTRY DYES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FORELSEWHERE METALLURGY MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS MISCELLANEOUS COMPOSITIONS NATURAL RESINS PAINTS POLISHES POLISHING COMPOSITIONS OTHER THAN FRENCH POLISH SEMICONDUCTOR DEVICES SKI WAXES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Es wird ein Verfahren zum Durchführen eines Polierprozesses bereitgestellt. Das Verfahren kann umfassen: Bilden kugelförmiger Titandioxid-Nanopartikel, Überziehen der kugelförmigen Titandioxid-Nanopartikel mit einer organischen Beschichtung, Lagern der kugelförmigen Titandioxid-Nanopartikel zusammen mit einem Oxidationsmittel, Bilden einer Polierlösung mit den kugelförmigen Titandioxid-Nanopartikeln, Aufbringen der Polierlösung auf eine Oberfläche eines Werkstücks, und Polieren der Oberfläche des Werkstücks mit der Polierlösung. A method of performing a polishing process is provided. The method may include forming spherical titanium dioxide nano-particles, covering the spherical titanium dioxide nano- particles with an organic coating, storing the spherical titanium dioxide nano-particles together with an oxidizer, forming a polishing solution with the spherical titanium dioxide nano-particles, applying the polishing solution on a surface of a work piece, and polishing the surface of the work piece with the polishing solution.