TROCKNUNGSVORRICHTUNG

Eine Trocknungsvorrichtung, die zum Trocknen einer Harzfolie, die ein Lösungsmittel enthält, ausgebildet ist, wobei die Trocknungsvorrichtung Folgendes umfassen kann: ein Gehäuse; eine Trennwand, die in dem Gehäuse angeordnet ist und einen Raum in dem Gehäuse in einen ersten Raum und einen zweiten Raum unterteilt; einen Förderer, der ausgebildet ist, um die Harzfolie in den ersten Raum zu fördern; eine erste Heizvorrichtung, die in dem zweiten Raum angeordnet und so ausgebildet ist, dass sie elektromagnetische Wellen auf die von dem Förderer geförderte Harzfolie abstrahlt; und ein Fenster, das in der Trennwand angeordnet und so ausgebildet ist, dass die von der ersten Heizvorrichtung abgestrahlten elektromagnetischen Wellen hindurchdringen können. Die erste Heizvorrichtung kann so ausgebildet sein, dass sie elektromagnetische Wellen in einem Wellenlängenbereich unter 4,0 µm auf die Harzfolie abstrahlt und elektromagnetische Wellen in einem Wellenlängenbereich von mindestens 4,0 µm oder mehr absorbiert. A drying device configured to dry a resin film including a solvent, the drying device may include: a housing; a partition disposed in the housing and partitioning a space in the housing into a first space and a second space; a conveyor configured to convey the resin film in the first space; a first heater disposed in the second space and configured to radiate electromagnetic waves to the resin film being conveyed by the conveyor; and a window disposed in the partition and configured to allow the electromagnetic waves radiated from the first heater to penetrate therethrough. The first heater may be configured to radiate electromagnetic waves in a wavelength band below 4.0 μm to the resin film and to absorb electromagnetic waves in a wavelength band of at least 4.0 μm or more.