Messvorrichtung zur interferometrischen Formvermessung einer optischen Oberfläche

Eine Messvorrichtung (10) zur interferometrischen Vermessung einer Form einer optischen Oberfläche (12) eines Prüflings (14) umfasst ein Haltemodul (36) zum Halten des Prüflings, ein diffraktives optisches Element zum Erzeugen einer auf die optische Oberfläche gerichteten Prüfwelle aus einer auf das...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Hetzler, Jochen, Loopstra, Erik
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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