Messvorrichtung zur interferometrischen Formvermessung einer optischen Oberfläche

Eine Messvorrichtung (10) zur interferometrischen Vermessung einer Form einer optischen Oberfläche (12) eines Prüflings (14) umfasst ein Haltemodul (36) zum Halten des Prüflings, ein diffraktives optisches Element zum Erzeugen einer auf die optische Oberfläche gerichteten Prüfwelle aus einer auf das diffraktive optische Element eingestrahlten Messstrahlung, ein interferometrisches Modul, welches dazu konfiguriert ist, die Messstrahlung auf das diffraktive optische Element einzustrahlen und ein Interferogramm zu erfassen, sowie einen Tragrahmen (50), an dem das Haltemodul sowie mindestens ein optisches Element des interferometrischen Moduls (48) jeweils in zumindest einem Starrkörperfreiheitsgrad gegenüber dem Tragrahmen justierbar ist und damit positionsvariabel am Tragrahmen angeordnet ist. Dabei ist das diffraktive optische Element (32) positionsfest an dem Tragrahmen angeordnet.