WASSERFÜHRENDES SYSTEM UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE
Ein wasserführendes System (100), insbesondere Kühlsystem, für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend eine erste Komponente (102), die einen durch die erste Komponente (102) hindurchgeführten ersten Kühlkanal (104), aufweist, eine zweite Komponente (120), die einen durch die zweite Kompon...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Ein wasserführendes System (100), insbesondere Kühlsystem, für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend eine erste Komponente (102), die einen durch die erste Komponente (102) hindurchgeführten ersten Kühlkanal (104), aufweist, eine zweite Komponente (120), die einen durch die zweite Komponente (120) hindurchgeführten zweiten Kühlkanal (122) aufweist, und eine Dichtungsvorrichtung (200), die zwischen der ersten Komponente (102) und der zweiten Komponente (120) angeordnet ist, um die erste Komponente (102) und die zweite Komponente (120) gegeneinander abzudichten, wobei die Dichtungsvorrichtung (200) einen Durchbruch (204) aufweist, mit dessen Hilfe der erste Kühlkanal (104) mit dem zweiten Kühlkanal (122) fluidisch verbunden ist, und wobei die Dichtungsvorrichtung (200) eine Verliersicherung (224) aufweist, die formschlüssig in einen an einer der beiden Komponenten (102, 120) vorgesehenen Eingriffsabschnitt (112) eingreift. |
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