Barriere gegen die Migration von Partikeln

Die Erfindung geht aus von einer mikromechanischen Vorrichtung mit einem Substrat (10) mit einer Haupterstreckungsebene (x, y),- mit einer oberen elektrisch leitfähigen Schicht (50), welche über dem Substrat angeordnet ist,- mit einer mikromechanischen Funktionsschicht (70), welche über der oberen elektrisch leitfähigen Schicht angeordnet ist,- mit einer beweglichen mechanischen Struktur (71) und einem mechanischen Anschlag (72), welche in der mikromechanischen Funktionsschicht ausgebildet sind,- mit einer Elektrode (51), welche in der oberen elektrisch leitfähigen Schicht ausgebildet ist und in einer ersten Richtung z senkrecht zur Haupterstreckungsebene (x, y) gesehen zwischen dem Substrat und der beweglichen mechanischen Struktur angeordnet ist.Der Kern der Erfindung besteht darin, dass in der in der oberen elektrisch leitfähigen Schicht eine mechanische Barriere (53) ausgebildet ist, welche in einer ersten Richtung z senkrecht zur Haupterstreckungsebene (x, y) gesehen über dem Substrat und unter der beweglichen mechanischen Struktur angeordnet ist und in einer Parallelprojektion zu der ersten Richtung z zwischen der Elektrode und dem mechanischen Anschlag angeordnet ist.