Verfahren zum Trocknen einer medienführenden Leitung, Trocknungseinrichtung und Lithographiesystem

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trocknen einer medienführenden Leitung (31b), insbesondere einer Temperierleitung, in einem Lithographiesystem, insbesondere in einem EUV-Lithographiesystem, umfassend: Ausblasen der Leitung (31b) mit einem Gas (36) zum Trocknen der Leitung (31b). Bei dem Ver...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Kaussler, Stefan, Muehlke, Christian
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY CLEANING CLEANING IN GENERAL ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS PREVENTION OF FOULING IN GENERAL TRANSPORTING
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