Mikroelektromechanische Aktuatorstruktur, Bauelement

Die Erfindung betrifft eine mikroelektromechanische Aktuatorstruktur (100). Die mikroelektromechanische Aktuatorstruktur (100) weist einen mikroelektromechanischen Chip mit einem Chiprahmen, einer Antriebsplatte und einer innerhalb des Chiprahmens angeordneten Antriebsstruktur auf. Die Antriebsstruktur weist in einer ersten Erstreckungsrichtung eine erste Abmessung und in einer zweiten Erstreckungsrichtung eine zweite Abmessung auf. Die erste Abmessung ist größer als eine dritte Abmessung der Antriebsstruktur in einer dritten Erstreckungsrichtung. Die zweite Abmessung ist ebenfalls größer als die dritte Abmessung. Die Antriebsstruktur weist zumindest ein erstes Antriebselement und ein zweites Antriebselement auf. Das erste Antriebselement weist ein erstes Innenelement und ein erstes Außenelement auf. Das erste Außenelement ist mit dem Chiprahmen verbunden. Das erste Innenelement ist gegenüber dem ersten Außenelement parallel zur dritten Erstreckungsrichtung bewegbar. Das zweite Antriebselement weist ein zweites Innenelement und ein zweites Außenelement auf. Das zweite Innenelement ist mit der Antriebsplatte verbunden. Das zweite Innenelement ist gegenüber dem zweiten Außenelement parallel zur dritten Erstreckungsrichtung bewegbar. Das erste Innenelement ist mit dem zweiten Außenelement verbunden. The invention relates to a microelectromechanical actuator structure (100). The microelectromechanical actuator structure (100) has a microelectromechanical chip with a chip frame, a drive plate, and a drive structure arranged within the chip frame. The drive structure has a first dimension in a first extension direction and a second dimension in a second extension direction. The first dimension is greater than a third dimension of the drive structure in a third extension direction, and the second dimension is likewise greater than the third dimension. The drive structure has at least a first drive element and a second drive element. The first drive element has a first inner element and a first outer element. The first outer element is connected to the chip frame, and the first inner element can be moved relative to the first outer element parallel to the third extension direction. The second drive element has a second inner element and a second outer element. The second inner element is connected to the drive plate, and the second inner element can be moved relative to the second outer element parallel to the third extension direction. The first inner element is