Verfahren zur Bestimmung von optischen Eigenschaften eines optischen Systems

Um optische Eigenschaften eines optischen Systems, das ein Beleuchtungssystem zum Beleuchten eines Objektfelds und ein Projektionssystem zum Abbilden des Objektfelds in ein Bildfeld aufweist, zu bestimmen, werden die folgenden Schritte durchgeführt: eine Beleuchtung des Objektfelds über eine Beleuchtungspupille, die eine Vielzahl von Pupillenflecken umfasst, wird bereitgestellt. Ein optisches Element mit einer optisch wirksamen Fläche, die eine Vielzahl von verschiebenden optisch wirksamen Gebieten umfasst, die eine individuelle Richtungsverschiebung, in Abhängigkeit von dem jeweiligen verschiebenden optisch wirksamen Gebiet, eines in das jeweilige verschiebende optisch wirksame Gebiet eintretenden Beleuchtungsstrahls bewirkt. Die individuelle Richtungsverschiebung wird durch Messen einer aus den verschiebenden optisch wirksamen Gebieten resultierenden Pupillenfleckverschiebung über eine Messpupille (4) im Weg des Beleuchtungsstrahls nach dem optischen Element für jeden der Pupillenflecke für eine Vielzahl von separaten Feldpunkten innerhalb des Objektfelds kalibriert. Die zu bestimmenden optischen Eigenschaften werden dann aus der gemessenen Pupillenfleckverschiebung berechnet. Das resultierende Bestimmungsverfahren ist beim Erhalten der gewünschten optischen Eigenschaften robust. To determine optical properties of an optical system having an illumination system to illuminate an object field and a projection system to image the object field into an image field, the following steps are performed: an illumination of the object field via an illumination pupil comprising a plurality of pupil spots is provided. An optical element with an optical surface comprising a plurality of shifting optical areas is provided which effect an individual direction shift, depending on the respective shifting optical area, of an illumination beam entering the respective shifting optical area. The individual direction shift is calibrated by measuring a pupil spot shift resulting from the shifting optical areas via a measuring pupil (4) in the illumination beam path after the optical element for each of the pupil spots for a plurality of separate field points within the object field. The optical properties to be determined are then calculated from the measured pupil spot shift. The resulting determination method is robust in obtaining the desired optical properties.