Abbildende EUV-Optik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld

Eine abbildende EUV-Optik (10) dient zur Abbildung eines Objektfeldes (5) in ein Bildfeld (11). Eine Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M8) dient zur Führung von EUV-Abbildungslicht (16) mit einer Wellenlänge, die kleiner ist als 30 nm, längs eines Abbildungsstrahlenganges vom Objektfeld (5) hin zum Bildfeld (11). Eine Gesamttransmission der Mehrzahl der Spiegel (M1 bis M8) für das EUV-Abbildungslicht (16) ist größer als 5 %. Das Bildfeld (11) der abbildenden Optik (10) hat in einer Bildebene (6) eine maximale Erstreckung, die größer ist als 26 mm. Es resultiert eine abbildende EUV-Optik, deren Nutzbarkeit für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage verbessert ist. An imaging EUV optical unit (10) serves for imaging an object field (5) into an image field (11). A plurality of mirrors (M1 to M8) serve for guiding EUV imaging light (16) at a wavelength of shorter than 30 nm along an imaging beam path from the object field (5) towards the image field (11). An overall transmission of the plurality of mirrors (M1 to M8) for the EUV imaging light (16) is greater than 5%. The image field (11) of the imaging optical unit (10) has a maximum extent of more than 26 mm in an image plane (6). This yields an imaging EUV optical unit with improved usability for an EUV projection exposure apparatus.