Dichtungsstruktur für einen mikroelektromechanischen Drucksensor und mikroelektromechanischer Drucksensor
Die Erfindung betrifft eine Dichtungsstruktur (100) für einen mikroelektromechanischen Drucksensor (200) mit einem Dichtungskörper (101) und wenigstens einem Dichtungselement (103), wobei der Dichtungskörper (101) einen Aufnahmeraum (105) zur Aufnahme wenigstens eines Drucksensorelements (201) und e...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | ger |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!