Dichtungsstruktur für einen mikroelektromechanischen Drucksensor und mikroelektromechanischer Drucksensor

Die Erfindung betrifft eine Dichtungsstruktur (100) für einen mikroelektromechanischen Drucksensor (200) mit einem Dichtungskörper (101) und wenigstens einem Dichtungselement (103), wobei der Dichtungskörper (101) einen Aufnahmeraum (105) zur Aufnahme wenigstens eines Drucksensorelements (201) und e...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Walter, Johann, Sodan, Lars, Steinecke, Ulf
Format: Patent
Sprache:ger
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