Dichtungsstruktur für einen mikroelektromechanischen Drucksensor und mikroelektromechanischer Drucksensor

Die Erfindung betrifft eine Dichtungsstruktur (100) für einen mikroelektromechanischen Drucksensor (200) mit einem Dichtungskörper (101) und wenigstens einem Dichtungselement (103), wobei der Dichtungskörper (101) einen Aufnahmeraum (105) zur Aufnahme wenigstens eines Drucksensorelements (201) und e...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Walter, Johann, Sodan, Lars, Steinecke, Ulf
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BLASTING CYLINDERS ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING LIGHTING MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MECHANICAL ENGINEERING PHYSICS PISTONS SEALINGS TESTING THERMAL INSULATION IN GENERAL WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Dichtungsstruktur (100) für einen mikroelektromechanischen Drucksensor (200) mit einem Dichtungskörper (101) und wenigstens einem Dichtungselement (103), wobei der Dichtungskörper (101) einen Aufnahmeraum (105) zur Aufnahme wenigstens eines Drucksensorelements (201) und eine Durchgangsöffnung (107) zur fluidtechnischen Verbindung des Aufnahmeraums (105) mit einer Umgebungsatmosphäre des Drucksensors (200) umfasst, wobei das wenigstens eine Dichtungselement (103) als ein radiales Dichtungselement (109) und/oder als ein axiales Dichtungselement (111) ausgebildet ist und an einer radialen Außenfläche (113) und/oder einer axialen Außenfläche (115) angeordnet und ausgebildet ist, eine fluiddichte Verbindung mit einem Gehäuseelement (203) des Drucksensors (200) zu bewirken, und wobei der Dichtungskörper (101) und/oder das Dichtungselement (103) aus Kunststoff gefertigt sind.Die Erfindung betrifft ferner einen mikroelektromechanischen Drucksensor (200) mit einer Dichtungsstruktur (100).