Sensoranordnung zur Anordnung an einer Messkammer, Vorrichtung zur Qualifizierung einer Maske und Verfahren zur Qualifizierung einer Maske

Zusammenfassung: Es wird eine Sensoranordnung (100; 200; 300; 500) zur Anordnung an einer Messkammer (540) vorgeschlagen. Die Sensoranordnung (100; 200; 300; 500) umfasst einen Sensor (124; 224; 324; 524), eine Ansaugöffnung (131; 231; 331) und einen Auslass (132; 232; 332; 532). Die Sensoranordnung...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Brekerbohm, Lutz, Matejka, Ulrich
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR MEASURING MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TARIFF METERING APPARATUS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zusammenfassung: Es wird eine Sensoranordnung (100; 200; 300; 500) zur Anordnung an einer Messkammer (540) vorgeschlagen. Die Sensoranordnung (100; 200; 300; 500) umfasst einen Sensor (124; 224; 324; 524), eine Ansaugöffnung (131; 231; 331) und einen Auslass (132; 232; 332; 532). Die Sensoranordnung (100; 200; 300; 500) umfasst eine fluide Verbindung (133; 233; 333) zwischen der Ansaugöffnung (131; 231; 331) und dem Auslass (132; 232; 332; 532). A sensor arrangement for arrangement on a measurement chamber, wherein the sensor arrangement comprises: a sensor; an intake opening; an outlet; and a fluid connection between the intake opening and the outlet.