Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines MEMS-Bauelementes

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines MEMS-Bauelelementes 105, wobei das Verfahren 500 einen Schritt des Bereitstellens eines Bauelementes 125 mit zumindest einem strukturierten MEMS-Abschnitt 130 und einen Schritt des lokales Verformens des Bauelementes 105 in einem Temperierabs...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Ametowobla, Mawuli, Pinter, Stefan
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines MEMS-Bauelelementes 105, wobei das Verfahren 500 einen Schritt des Bereitstellens eines Bauelementes 125 mit zumindest einem strukturierten MEMS-Abschnitt 130 und einen Schritt des lokales Verformens des Bauelementes 105 in einem Temperierabschnitt 140 aufweist, wobei zumindest das Material des MEMS-Abschnitts 30 des Bauelementes 105 im Temperierabschnitt 140 lokal auf eine andere Temperatur gebracht wird als ein Material des Bauelementes 125 außerhalb des Temperierabschnitts 145, um bei der Herstellung des MEMS-Bauelelements 105 eine Oberfläche des temperierten Temperierabschnitts 140 glätten und/oder um eine Position und/oder eine Form des Bauelementes (105) in dem Temperierabschnitt (140) nach dem Temperieren gegenüber einer Position und/oder eine Form des Bauelementes (105) in dem Temperierabschnitt (140) vor dem Temperieren dauerhaft zu verändern.