OPTISCHES SYSTEM UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE

Ein optisches System (100A, 100B) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend ein optisches Element (102, 102', 212), eine Tragstruktur (134, 214) zum Tragen des optischen Elements (102, 102', 212), und eine Schnittstelle (128A, 128B, 128C, 128D, 128E), mit deren Hilfe das optisc...

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Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Oeztuerk, Semih, Limbach, Guido
Format: Patent
Sprache:ger
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