Computerimplementiertes Verfahren zur Ermittlung einer Anomalie eines Bauteils

Die Erfindung betrifft ein computerimplementiertes Verfahren zur Ermittlung einer Anomalie eines Bauteils, insbesondere eines Halbleiterbauteils und/oder eines Chips und/oder eines Wafers, umfassend die Schritte: Bereitstellen (S1) einer Vielzahl von Messwerten, die jeweils zur Qualitätskontrolle de...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Iakovlev, Anton, Pfrommer, Timo, Schoenleber, David, Trotta, Joseph, Chai, Keng, Bansal, Mehul
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CALCULATING COMPUTING COUNTING ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein computerimplementiertes Verfahren zur Ermittlung einer Anomalie eines Bauteils, insbesondere eines Halbleiterbauteils und/oder eines Chips und/oder eines Wafers, umfassend die Schritte: Bereitstellen (S1) einer Vielzahl von Messwerten, die jeweils zur Qualitätskontrolle des Bauteils erfasst sind; Bereitstellen (S2) mindestens eines trainierten, insbesondere statistischen Regressionsmodells für jeden der Vielzahl von Messwerten, das dazu ausgebildet ist, den jeweiligen Messwert der Vielzahl von Messwerten auf Basis der anderen Messwerte der Vielzahl von Messwerten vorherzusagen; Vorhersagen (S3) des jeweiligen Messwertes auf Basis der anderen Messwerte durch Anwenden des jeweiligen trainierten Regressionsmodells;- Ermitteln (S4) einer jeweiligen Differenz zwischen dem jeweils vorhergesagten Messwert und dem jeweils erfassten Messwert; und Aufsummieren (S5) der ermittelten Differenzen für alle Messwerte der Vielzahl von Messwerten zur Ermittlung eines Anomalieergebnisses.