Verfahren zum automatisierten mechanischen Justieren einer Teilchenstrahlsäule, zugehöriges Computerprogrammprodukt und Teilchenstrahlsäule

Offenbart werden mehrere automatisierte mechanische Justageverfahren für eine Teilchenstrahlsäule. Beispielsweise können so ein Strahlerzeuger, ein Kondensorlinsensystem, ein Detektionssystem und ein Objektivlinsensystem schnell und präzise justiert werden. Die mechanischen Justageverfahren sind mit elektrischen Justageverfahren kombinierbar. The invention discloses multiple automated mechanical adjustment methods for a particle beam column. By way of example, a beam generator, a condenser lens system, a detection system and an objective lens system are thus able to be adjusted quickly and precisely. The mechanical adjustment methods may be combined with electrical adjustment methods.