3DIC-PACKAGE UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
Ein Verfahren umfasst Folgendes: Bonden eines ersten Vorrichtungs-Dies an einen zweiten Vorrichtungs-Die durch Vorderseite-an-Vorderseite-Bondung, wobei der zweite Vorrichtungs-Die in einem Vorrichtungswafer angeordnet ist; Erzeugen eines Spaltfüllbereichs, um den ersten Vorrichtungs-Die zu umschlie...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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