Verfahren und Lasersystem zur Erzeugung von Sekundärstrahlung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung von Sekundärstrahlung, bei dem ein Targetmaterial (106) in einem Zielbereich (122) bereitgestellt wird, das Targetmaterial (106) in dem Zielbereich (122) mit einer Pulsfolge (118b) aus Laserpulsen (112) beaufschlagt wird, wobei durch Wechselwirkung...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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