Handhabungssystem für einen Reinraum, ein Reinraum und ein Verfahren zum Abheben von Deckschichten

Es werden ein Handhabungssystem (10) für einen Reinraum (64), ein Reinraum (64) mit einem solchen Handhabungssystem (10) und ein Verfahren zum Abheben von Deckschichten (16) vorgeschlagen. A handling system (10) for a cleanroom (64), a cleanroom (64) having such a handling system (10), and a method...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Ilgenfritz, Markus, Krauss, Ulrich, Nagler, Stefan, Stegmeier, Samuel
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CONVEYING HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGINGARTICLES OR MATERIALS PACKING PERFORMING OPERATIONS STORING TRANSPORTING UNPACKING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Es werden ein Handhabungssystem (10) für einen Reinraum (64), ein Reinraum (64) mit einem solchen Handhabungssystem (10) und ein Verfahren zum Abheben von Deckschichten (16) vorgeschlagen. A handling system (10) for a cleanroom (64), a cleanroom (64) having such a handling system (10), and a method for lifting off cover layers (16).