Messvorrichtung, Verfahren zum Betreiben einer maskenmetrologischen Messvorrichtung und Computerprogrammprodukt

Verfahren zum Betreiben einer maskenmetrologischen Messvorrichtung, bei der mit einem ersten Bildsensor (20) ein Bild eines Ausschnitts (20) einer Fotomaske (17) aufgenommen wird und bei dem ein Luftbild erzeugt wird, indem die mit dem Bildsensor (20) gewonnenen Bild-Rohdaten einer Clear-Normierung...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Frank, Thomas, Reisloehner, Jan, Matejka, Ulrich
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR MEASURING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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