Vorrichtung und Verfahren zur Präparation von mikroskopischen Proben mittels Backside-Thinning

Die Erfindung betrifft einen Probenhalter zum Halten einer Mikroprobe während des Backside-Thinning, sowie ein Verfahren zum Backside-Thinning.Der Probenhalter ist auf eine Probenbühne montierbar und umfasst eine Grundplatte, ein Zwischenstück und eine Aufnahmevorrichtung. Die Grundplatte weist eine...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Stegmann, Heiko
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator	Stegmann, Heiko
description	Die Erfindung betrifft einen Probenhalter zum Halten einer Mikroprobe während des Backside-Thinning, sowie ein Verfahren zum Backside-Thinning.Der Probenhalter ist auf eine Probenbühne montierbar und umfasst eine Grundplatte, ein Zwischenstück und eine Aufnahmevorrichtung. Die Grundplatte weist eine Basisseitenfläche auf. Das Zwischenstück ist rotierbar an der Grundplatte angeordnet, wobei es um eine erste Drehachse R1 drehbar ist, die relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel von 30° bis 60° ausgerichtet ist. Weiterhin ist die Aufnahmevorrichtung rotierbar mit dem Zwischenstück verbunden, wobei die Aufnahmevorrichtung um eine zweite Drehachse R2 relativ zum Zwischenstück rotierbar ist. Die zweite Drehachse R2 ist dabei relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel ausgerichtet ist, der rechtwinklig ist oder von 90° abweicht. Mithilfe des Probenhalters kann die Raumorientierung der Mikroprobe geändert werden, so dass die Mikroprobe in den für das Backsie-Thinning erforderlichen Ausrichtungen gehalten werden kann.
format	Patent
fullrecord	<record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_DE102023005443A1</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>DE102023005443A1</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_DE102023005443A13</originalsourceid><addsrcrecordid>eNqNijsOgkAUAGksjHqHbSxJlo8HQMVYUhBasi4P9gV8u3m7WHgeb-LFxMQDWEwmmcw6ahvLjNqEmQYxUyca4F4ZBhLPmUXF75dTrAJaEo-FO45s_Wgdem2WqWJ7g28OASYvjkqPHjuIa4NESMM2WvVq8rD7eRPtL2V9usbgbAveKQ0EoT2XiUxlmkl5yPOsSLJ_vw9ADD_R</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>Vorrichtung und Verfahren zur Präparation von mikroskopischen Proben mittels Backside-Thinning</title><source>esp@cenet</source><creator>Stegmann, Heiko</creator><creatorcontrib>Stegmann, Heiko</creatorcontrib><description>Die Erfindung betrifft einen Probenhalter zum Halten einer Mikroprobe während des Backside-Thinning, sowie ein Verfahren zum Backside-Thinning.Der Probenhalter ist auf eine Probenbühne montierbar und umfasst eine Grundplatte, ein Zwischenstück und eine Aufnahmevorrichtung. Die Grundplatte weist eine Basisseitenfläche auf. Das Zwischenstück ist rotierbar an der Grundplatte angeordnet, wobei es um eine erste Drehachse R1 drehbar ist, die relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel von 30° bis 60° ausgerichtet ist. Weiterhin ist die Aufnahmevorrichtung rotierbar mit dem Zwischenstück verbunden, wobei die Aufnahmevorrichtung um eine zweite Drehachse R2 relativ zum Zwischenstück rotierbar ist. Die zweite Drehachse R2 ist dabei relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel ausgerichtet ist, der rechtwinklig ist oder von 90° abweicht. Mithilfe des Probenhalters kann die Raumorientierung der Mikroprobe geändert werden, so dass die Mikroprobe in den für das Backsie-Thinning erforderlichen Ausrichtungen gehalten werden kann.</description><language>ger</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ; ELECTRICITY ; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES ; MEASURING ; PHYSICS ; TESTING</subject><creationdate>2024</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20241017&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102023005443A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20241017&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102023005443A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Stegmann, Heiko</creatorcontrib><title>Vorrichtung und Verfahren zur Präparation von mikroskopischen Proben mittels Backside-Thinning</title><description>Die Erfindung betrifft einen Probenhalter zum Halten einer Mikroprobe während des Backside-Thinning, sowie ein Verfahren zum Backside-Thinning.Der Probenhalter ist auf eine Probenbühne montierbar und umfasst eine Grundplatte, ein Zwischenstück und eine Aufnahmevorrichtung. Die Grundplatte weist eine Basisseitenfläche auf. Das Zwischenstück ist rotierbar an der Grundplatte angeordnet, wobei es um eine erste Drehachse R1 drehbar ist, die relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel von 30° bis 60° ausgerichtet ist. Weiterhin ist die Aufnahmevorrichtung rotierbar mit dem Zwischenstück verbunden, wobei die Aufnahmevorrichtung um eine zweite Drehachse R2 relativ zum Zwischenstück rotierbar ist. Die zweite Drehachse R2 ist dabei relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel ausgerichtet ist, der rechtwinklig ist oder von 90° abweicht. Mithilfe des Probenhalters kann die Raumorientierung der Mikroprobe geändert werden, so dass die Mikroprobe in den für das Backsie-Thinning erforderlichen Ausrichtungen gehalten werden kann.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</subject><subject>MEASURING</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>TESTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2024</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNijsOgkAUAGksjHqHbSxJlo8HQMVYUhBasi4P9gV8u3m7WHgeb-LFxMQDWEwmmcw6ahvLjNqEmQYxUyca4F4ZBhLPmUXF75dTrAJaEo-FO45s_Wgdem2WqWJ7g28OASYvjkqPHjuIa4NESMM2WvVq8rD7eRPtL2V9usbgbAveKQ0EoT2XiUxlmkl5yPOsSLJ_vw9ADD_R</recordid><startdate>20241017</startdate><enddate>20241017</enddate><creator>Stegmann, Heiko</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20241017</creationdate><title>Vorrichtung und Verfahren zur Präparation von mikroskopischen Proben mittels Backside-Thinning</title><author>Stegmann, Heiko</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE102023005443A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>2024</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</topic><topic>MEASURING</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>TESTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Stegmann, Heiko</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Stegmann, Heiko</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Vorrichtung und Verfahren zur Präparation von mikroskopischen Proben mittels Backside-Thinning</title><date>2024-10-17</date><risdate>2024</risdate><abstract>Die Erfindung betrifft einen Probenhalter zum Halten einer Mikroprobe während des Backside-Thinning, sowie ein Verfahren zum Backside-Thinning.Der Probenhalter ist auf eine Probenbühne montierbar und umfasst eine Grundplatte, ein Zwischenstück und eine Aufnahmevorrichtung. Die Grundplatte weist eine Basisseitenfläche auf. Das Zwischenstück ist rotierbar an der Grundplatte angeordnet, wobei es um eine erste Drehachse R1 drehbar ist, die relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel von 30° bis 60° ausgerichtet ist. Weiterhin ist die Aufnahmevorrichtung rotierbar mit dem Zwischenstück verbunden, wobei die Aufnahmevorrichtung um eine zweite Drehachse R2 relativ zum Zwischenstück rotierbar ist. Die zweite Drehachse R2 ist dabei relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel ausgerichtet ist, der rechtwinklig ist oder von 90° abweicht. Mithilfe des Probenhalters kann die Raumorientierung der Mikroprobe geändert werden, so dass die Mikroprobe in den für das Backsie-Thinning erforderlichen Ausrichtungen gehalten werden kann.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext	fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language	ger
recordid	cdi_epo_espacenet_DE102023005443A1
source	esp@cenet
subjects	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
title	Vorrichtung und Verfahren zur Präparation von mikroskopischen Proben mittels Backside-Thinning
url	https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-27T02%3A37%3A53IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=Stegmann,%20Heiko&rft.date=2024-10-17&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EDE102023005443A1%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true