Vorrichtung und Verfahren zur Präparation von mikroskopischen Proben mittels Backside-Thinning

Die Erfindung betrifft einen Probenhalter zum Halten einer Mikroprobe während des Backside-Thinning, sowie ein Verfahren zum Backside-Thinning.Der Probenhalter ist auf eine Probenbühne montierbar und umfasst eine Grundplatte, ein Zwischenstück und eine Aufnahmevorrichtung. Die Grundplatte weist eine Basisseitenfläche auf. Das Zwischenstück ist rotierbar an der Grundplatte angeordnet, wobei es um eine erste Drehachse R1 drehbar ist, die relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel von 30° bis 60° ausgerichtet ist. Weiterhin ist die Aufnahmevorrichtung rotierbar mit dem Zwischenstück verbunden, wobei die Aufnahmevorrichtung um eine zweite Drehachse R2 relativ zum Zwischenstück rotierbar ist. Die zweite Drehachse R2 ist dabei relativ zur Basisseitenfläche in einem Winkel ausgerichtet ist, der rechtwinklig ist oder von 90° abweicht. Mithilfe des Probenhalters kann die Raumorientierung der Mikroprobe geändert werden, so dass die Mikroprobe in den für das Backsie-Thinning erforderlichen Ausrichtungen gehalten werden kann.