SCHWINGUNGSTILGER UND LITHOGRAPHIEANLAGE

Ein Schwingungstilger (400) für ein mit Schwingungen beaufschlagtes System (202), aufweisend eine Tilgermasse (404), ein Dämpfungselement (402), welches die Tilgermasse (404) an das System (202) koppelt, und ein Federelement (410), welches die Tilgermasse (404) ebenfalls an das System (202) koppelt,...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Faassen, Ronald, Geuppert, Bernhard, Bestler, Anja, Hege, Lukas
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Ein Schwingungstilger (400) für ein mit Schwingungen beaufschlagtes System (202), aufweisend eine Tilgermasse (404), ein Dämpfungselement (402), welches die Tilgermasse (404) an das System (202) koppelt, und ein Federelement (410), welches die Tilgermasse (404) ebenfalls an das System (202) koppelt, wobei das Federelement (410) parallel zu dem Dämpfungselement (402) geschaltet ist.