Spiegelvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Spiegelvorrichtung

Spiegelvorrichtung für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage (10, 22), mit einem Spiegelkörper (23), mit einer Mehrzahl von in dem Spiegelkörper (23) ausgebildeten Kühlkanälen (27), mit einer an dem Spiegelkörper (23) ausgebildeten Reflexionsfläche (24) und mit einem Kühlsystem (30, 32, 33, 35) zum Erzeugen eines Kühlmittelflusses entlang der Kühlkanäle (27). Die Kühlkanäle (27) erstrecken sich zwischen einem Eingangsverteiler (25) und einem Ausgangsverteiler (26). Die Spiegelvorrichtung umfasst eine Steuereinheit (34), der ein Messwert über eine Zustandsgröße der Projektionsbelichtungsanlage (10, 22) zugeführt wird. Die Steuereinheit (34) wertet den Messwert aus, um ein Steuersignal zu erzeugen. Mit dem Steuersignal wird das Kühlsystem (30, 32, 33, 35) angesteuert wird, so dass der Kühlmitteldruck verändert wird, um die geometrische Form der Reflexionsfläche (24) anzupassen. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Betreiben einer Spiegelvorrichtung. The invention relates to a mirror device for a microlithographic projection exposure system (10, 22), comprising a frame structure (29) and a mirror body (23) with a plurality of cooling channels (27) which are formed in the mirror body (23), a reflective surface (24) which is formed on the mirror body (23), and a cooling system (30, 32, 33, 35) for generating a coolant flow along the cooling channels (27). The cooling channels (27) extend between an inlet distributor (25) and an outlet distributor (26), and the mirror body (23) is movably suspended on a frame structure (29), wherein the inlet distributor (25) is connected to a coolant store (33) via a first flexible connection line (35) and/or the outlet distributor (26) is connected to the coolant store (33) via a second flexible connection line (32). The mirror device comprises a control unit (34) which supplies a measurement value relating to a state variable to the projection exposure system (10, 22). The control unit (34) analyzes the measurement value in order to generate a control signal, and the cooling system (30, 32, 33, 35) is controlled using the control signal such that the coolant pressure is modified in order to adapt the geometric shape of the reflective surface (24). The invention also relates to a method for operating a mirror device.