Mikromechanisch-optischer Beschleunigungssensor
Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Beschleunigungssensor mit einem festen Teil (10) und einem Biegebalken (20), welcher an einem Ende mit dem festen Teil verbunden ist, wobei der Biegebalken an einem anderen Ende bei einer einwirkenden Beschleunigung gegenüber dem festen Teil auslenk...
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| Format: | Patent |
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| description | Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Beschleunigungssensor mit einem festen Teil (10) und einem Biegebalken (20), welcher an einem Ende mit dem festen Teil verbunden ist, wobei der Biegebalken an einem anderen Ende bei einer einwirkenden Beschleunigung gegenüber dem festen Teil auslenkbar ist. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass wenigstens der Biegebalken einen planaren optischen Wellenleiter (110) zum Nachweis einer Auslenkung (X) aufweist. |
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