Mikromechanisch-optischer Beschleunigungssensor

Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Beschleunigungssensor mit einem festen Teil (10) und einem Biegebalken (20), welcher an einem Ende mit dem festen Teil verbunden ist, wobei der Biegebalken an einem anderen Ende bei einer einwirkenden Beschleunigung gegenüber dem festen Teil auslenk...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Varga-Umbrich, Karoly, Majoros, Tamas, Weiss, Robert, Dögei, Tamás
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS DEVICES USING STIMULATED EMISSION ELECTRICITY INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PERFORMING OPERATIONS PHYSICS TESTING TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung geht aus von einem mikromechanischen Beschleunigungssensor mit einem festen Teil (10) und einem Biegebalken (20), welcher an einem Ende mit dem festen Teil verbunden ist, wobei der Biegebalken an einem anderen Ende bei einer einwirkenden Beschleunigung gegenüber dem festen Teil auslenkbar ist. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass wenigstens der Biegebalken einen planaren optischen Wellenleiter (110) zum Nachweis einer Auslenkung (X) aufweist.