Verfahren zur Vorhersage einer Abweichung zwischen einer für ein optisches Element in einem Messzustand gemessenen und einer im Betriebszustand zu erwartenden Passe
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Vorhersage einer Abweichung zwischen einer für ein optisches Element in einem Messzustand gemessenen und einer im Betriebszustand zu erwartenden Passe, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Messtechnisches Ermitteln wenigstens einer Eigenschaft des...
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| Format: | Patent |
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| creator | Conradi, Olaf Möller, Timo Hembacher, Stefan Nefzi, Marwene Ranck, Albrecht |
| description | Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Vorhersage einer Abweichung zwischen einer für ein optisches Element in einem Messzustand gemessenen und einer im Betriebszustand zu erwartenden Passe, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Messtechnisches Ermitteln wenigstens einer Eigenschaft des optischen Elements, Simulation sowohl des Messzustandes als auch des Betriebszustandes auf Basis dieser Eigenschaft, und Vorhersage einer Abweichung zwischen einer für das optisches Element im Messzustand gemessenen Passe und einer für das optische Element im Betriebszustand zu erwartenden Passe auf Basis dieser Simulation, wobei das messtechnische Ermitteln wenigstens einer Eigenschaft des optischen Elements unter Durchführung einer Mehrzahl unterschiedlicher physikalischer Messverfahren erfolgt. |
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