VERFAHREN UND AUSTAUSCHWERKZEUG

Ein Verfahren zum Austauschen eines optisches Systems (100), insbesondere eines DUV-Spiegels, einer Projektionsbelichtungsanlage (1), mit folgenden Schritten: a) Anheben (S1) des optischen Systems (100) entlang einer Mittelachse (102) des optischen Systems (100) derart, dass Fassungstreben (132) des...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Hegele, Tobias, Henseler, Sebastian, Sigel, Benjamin, Dürr, Dietmar, Werner, Christian, Doetzel, Eugen, Beyrle, Christian, Ostendorf, Alexander, Kaniut, Alexander, Kruis, Johannes
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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