VERFAHREN UND AUSTAUSCHWERKZEUG

Ein Verfahren zum Austauschen eines optisches Systems (100), insbesondere eines DUV-Spiegels, einer Projektionsbelichtungsanlage (1), mit folgenden Schritten: a) Anheben (S1) des optischen Systems (100) entlang einer Mittelachse (102) des optischen Systems (100) derart, dass Fassungstreben (132) des...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Hegele, Tobias, Henseler, Sebastian, Sigel, Benjamin, Dürr, Dietmar, Werner, Christian, Doetzel, Eugen, Beyrle, Christian, Ostendorf, Alexander, Kaniut, Alexander, Kruis, Johannes
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ein Verfahren zum Austauschen eines optisches Systems (100), insbesondere eines DUV-Spiegels, einer Projektionsbelichtungsanlage (1), mit folgenden Schritten: a) Anheben (S1) des optischen Systems (100) entlang einer Mittelachse (102) des optischen Systems (100) derart, dass Fassungstreben (132) des optischen Systems (100) außer Kontakt mit Rahmenstreben (134, 136) eines das optische System (100) tragenden Rahmens (138) geraten, b) Drehen (S2) des optischen Systems (100) um die Mittelachse (102) derart, dass die Fassungsstreben (132) zwischen den Rahmenstreben (134, 136) angeordnet werden, c) Absenken (S3) des optischen Systems (100) entlang der Mittelachse (102), und d) Verlagern (S4) des optischen Systems (100) senkrecht zu der Mittelachse (102) derart, dass das optische System (100) aus einem Gehäuse (144) herausbewegt wird.