BEARBEITUNGSVORRICHTUNG

Eine Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet eine Zuführeinheit zum Zuführen eines Werkstücks zwischen einer auf einer Kassettenablage platzierten Kassette und einem Spanntisch und eine Messeinheit zum Messen einer Dicke des Werkstücks. Die Zuführeinheit beinhaltet eine Basis mit einem kontaktlosen Saughalter zum Ausstoßen von Luft, um einen Unterdruck zum Anziehen und Halten des Werkstücks unter Saugwirkung ohne Kontakt mit diesem zu entwickeln, und eine Bewegungseinheit zum Bewegen der Basis. Die Höhe des kontaktlosen Saughalters wird entsprechend der Dicke des Werkstücks eingestellt, welche durch die Messeinheit gemessen wird, um den kontaktlosen Saughalter bei einer Position zu platzieren, die um einen vorbestimmten Abstand in einem vorbestimmten Bereich von einer Stirnseite des Werkstücks beabstandet ist, während das Werkstück durch die Zuführeinheit zugeführt wird. A processing apparatus includes a delivery unit for delivering a workpiece between a cassette placed on a cassette rest and a chuck table and a measuring unit for measuring a thickness of the workpiece. The delivery unit includes a base having a non-contact-type suction holder for ejecting air to develop a negative pressure to attract and hold the workpiece under suction out of contact therewith, and a moving unit for moving the base. The height of the non-contact-type suction holder is adjusted according to the thickness of the workpiece measured by the measuring unit to place the non-contact-type suction holder in a position that is spaced from a face side of the workpiece by a distance in a predetermined range while the workpiece is being delivered by the delivery unit.