Druckmindereinheit und EUV-Lithographiesystem

Die Erfindung betrifft eine Druckmindereinheit (25), umfassend: einen bevorzugt stabartigen Grundkörper (26), der eine Mehrzahl von wendelförmigen Drosselkanälen (28a-f) zur parallelen Durchströmung mit einem Fluid (F) aufweist, die sich von einer ersten, eintrittsseitigen Stirnseite (29a) des Grund...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schweigert, Eduard
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BLASTING CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS FLUID DYNAMICS, i.e. METHODS OR MEANS FOR INFLUENCING THE FLOWOF GASES OR LIQUIDS FLUID-PRESSURE ACTUATORS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING HOLOGRAPHY HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES LIGHTING MATERIALS THEREFOR MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL MECHANICAL ENGINEERING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS PIPES SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING THERMAL INSULATION IN GENERAL WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Druckmindereinheit (25), umfassend: einen bevorzugt stabartigen Grundkörper (26), der eine Mehrzahl von wendelförmigen Drosselkanälen (28a-f) zur parallelen Durchströmung mit einem Fluid (F) aufweist, die sich von einer ersten, eintrittsseitigen Stirnseite (29a) des Grundkörpers (26) zu einer zweiten, austrittsseitigen Stirnseite (29b) des Grundkörpers (26) erstrecken. Die Erfindung betrifft auch ein EUV-Lithographiesystem (1), umfassend: mindestens eine mit einem Fluid (F) durchströmbare Komponente, insbesondere eine Fluidleitung, ein optisches Element oder ein Strukturbauteil, wobei die mit dem Fluid (F) durchströmbare Komponente mindestens eine Druckmindereinheit (25) aufweist, die wie weiter oben beschrieben ausgebildet ist.