Vorrichtung zur Positionierung einer ersten Komponente eines optischen Systems, Komponente eines optischen Systems, optische Einrichtung und Lithografiesystem

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Positionierung einer ersten Komponente (1) eines optischen Systems, insbesondere einer Projektionsbelichtungsanlage (100, 200), an einer zweiten Komponente (2) des optischen Systems. Die Vorrichtung weist wenigstens eine Positioniereinrichtung (3) auf. Die...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Erath, Michael, Orlik, Roman
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Positionierung einer ersten Komponente (1) eines optischen Systems, insbesondere einer Projektionsbelichtungsanlage (100, 200), an einer zweiten Komponente (2) des optischen Systems. Die Vorrichtung weist wenigstens eine Positioniereinrichtung (3) auf. Die Positioniereinrichtung (3) weist eine Tragstruktur (5), einen Positionierstift (6) und mehrere Blattfedern (7) auf. Die Blattfedern (7) verbinden den Positionierstift (6) mit der Tragstruktur (5). Die Blattfedern (7) sind derart angeordnet, dass eine Längsachse der Blattfedern (7) in einem Winkel zu einer Längsachse des Positionierstifts (6) verläuft. Der Positionierstift (6) weist eine längliche Grundform mit einem ersten Ende (6a) und einem zweiten Ende (6b) auf. Das erste Ende (6a) ist im Bereich einer Oberfläche der Tragstruktur (5) positioniert. Das erste Ende (6a) ist zur Kontaktierung einer an der zweiten Komponente (2) festlegbaren oder einstückig mit dieser ausgebildeten Positionieraufnahme (3) vorgesehen. Das erste Ende (6a) weist eine wenigstens abschnittsweise konusförmige oder kugelförmige Spitze (8) auf. Der Positionierstift (6) ist entlang seiner Längsachse entgegen der Kraft der Blattfedern (7) von einem Ausgangszustand, in dem die Blattfedern (7) entspannt sind, in Richtung auf das zweite Ende (6b) verschiebbar.