Kapazitiver Drucksensor

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Drucksensor (2) mit einer auf einer Trägerschicht (4) angeordneten Sensorschicht (6) mit einer Interdigitalelektrode (8), die zwei auf die Trägerschicht (4) aufgedruckte und kammartig ineinandergreifende Elektroden (8a, 8b) aufweist, wobei zwischen den Elektr...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Kneer, Janosch, Schleuniger, Juerg
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Drucksensor (2) mit einer auf einer Trägerschicht (4) angeordneten Sensorschicht (6) mit einer Interdigitalelektrode (8), die zwei auf die Trägerschicht (4) aufgedruckte und kammartig ineinandergreifende Elektroden (8a, 8b) aufweist, wobei zwischen den Elektroden (8a, 8) ein druckempfindliches Material (10) angeordnet ist, das aus einem kompressiblen dielektrischen Material gebildet ist, das isoliert zueinander angeordnete Partikel mit anderer Permittivität als das dielektrische Material enthält. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Sensors (2).