Verfahren und Vorrichtung zum Parametrieren eines Fertigungsprozesses

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bereitstellen eines Prozessparametermodells (11) zum Parametrieren eines oder mehrerer Prozessschritte (2) eines Fertigungsprozesses (1) zur Herstellung eines Bauelements (B), mit folgenden Schritten:- Bereitstellen (S3) eines Gütemodells (12) zum Ermitteln e...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Steimer, Andreas, Baeuerle, Simon, Shakirov, Damir
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bereitstellen eines Prozessparametermodells (11) zum Parametrieren eines oder mehrerer Prozessschritte (2) eines Fertigungsprozesses (1) zur Herstellung eines Bauelements (B), mit folgenden Schritten:- Bereitstellen (S3) eines Gütemodells (12) zum Ermitteln einer Güte (G), wobei das Gütemodell (12) ausgebildet ist, um abhängig von einer oder mehreren vorgegebenen Messgrößen (M) und/oder von einer oder mehreren vorgegebenen Zustandsgrößen (Z), die jeweils eine Eigenschaft eines Vorprodukts oder Zwischenprodukts des herzustellenden Bauelements (B) und/oder eines Fertigungsgeräts (3) zur Durchführung eines Prozessschritts (2) und/oder mindestens eine Umgebungsbedingung angeben, und von einem oder mehreren Prozessparametern (P), die einen entsprechenden der Prozessschritte (2) kontrollieren, die Güte (G) des resultierenden Bauelements (B) direkt oder mithilfe einer vorgegebenen Gütefunktion (13) anzugeben;- Trainieren (S4) eines datenbasierten Prozessparametermodells (11) zur Ausgabe von einem oder mehreren Prozessparametern (P) abhängig von einer oder mehreren sensorisch erfassten Messgrößen (M) und/oder von einer oder mehreren vorgegebenen Zustandsgrößen (Z) durch Optimieren der Güte (G). The invention relates to a method for providing a process parameter model (11) for parameterising one or more process steps (2) of a production process (1) for manufacturing a component (B), the method having the following steps: - providing (S3) a quality model (12) for determining a quality (G), the quality model (12) being designed to specify the quality (G) of the resulting component (B) directly or with the aid of a predefined quality function (13) on the basis of one or more predefined measurement variables (M) and/or one or more predefined state variables (Z), which each specify a property of a pre-product or intermediate product of the component (B) being manufactured and/or of a production device (3) for performing a process step (2) and/or at least one environmental condition, and on the basis of one or more process parameters (P) which control a corresponding one of the process steps (2); - training (S4) a data-based process parameter model (11) to output one or more process parameters (P) on the basis of one or more measurement variables (M) captured by sensor and/or one or more predefined state variables (Z) by optimising the quality (G).