Substratträgersystem und Transportvorrichtung

Verschiedene Ausführungsformen betreffen ein Substratträgersystem (100), das aufweist: einen Substrataufnahmebereich (120); eine Grundplatte (110), welche eine den Substrataufnahmebereich begrenzende Substratauflagefläche (111) aufweist, auf welcher ein in dem Substrataufnahmebereich (120) aufgenomm...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Poslusznik, Cindy, Künanz, Robert, Dimer, Martin, Aulhorn, Stephan, Siebert, Ralf, Krause, Jochen
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Verschiedene Ausführungsformen betreffen ein Substratträgersystem (100), das aufweist: einen Substrataufnahmebereich (120); eine Grundplatte (110), welche eine den Substrataufnahmebereich begrenzende Substratauflagefläche (111) aufweist, auf welcher ein in dem Substrataufnahmebereich (120) aufgenommenes Substrat (121) aufliegen kann; wobei die Grundplatte (110) zumindest eine längserstreckte Nut (112) aufweist, welche die Substratauflagefläche (111) entlang einer ersten Richtung begrenzt; zumindest eine Leiste (130), welche in die Nut (112) eingelegt, mit einem ersten Abschnitt (131) unter den Substrataufnahmebereich greift und mit einem zweiten Abschnitt (132) den Substrataufnahmebereich (120) seitlich begrenzt. Various embodiments relate to a substrate carrier system, a transport apparatus, and a use of a substrate carrier system. The substrate carrier system (100) comprises: a substrate receiving area (120); a base plate (110) having a substrate support surface (111) which delimits the substrate receiving region, on which a substrate (121) received in the substrate receiving region (120) can be placed; wherein the base plate (110) has at least one longitudinally extending groove (112) which delimits the substrate support surface (111) in a first direction; and at least one strip (130) which is inserted into the groove (112), which strip is joined with a first section (131) below the substrate receiving area and with a second section (132) laterally delimiting the substrate receiving area (120).