Verfahren zum Präparieren einer mikroskopischen Probe für FIB/SEM-Tomographie sowie Computerprogrammprodukt

Die Erfindung umfasst ein Verfahren zum Präparieren eines Volumens von Interesse (VOI) aus einer Bulkprobe, wobei das Verfahren mit der Hilfe eines Teilchenstrahlsystems durchgeführt wird.Das Teilchenstrahlsystem ist ausgelegt zum Aufnehmen und zum Abbilden der Bulkprobe und ausgelegt zum Liefern eines Teilchenstrahls zum Entfernen von Material aus der Bulkprobe. Darüber hinaus ist das Teilchenstrahlsystem ausgelegt zum Definieren von Schneidregionen,wobei eine Schneidregion Ort und Größe eines aus der Bulkprobe zu entfernenden Volumens festlegt, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:Bereitstellen einer Bulkprobe, die das VOI umfasst;Anordnen der Bulkprobe in der ersten Orientierung relativ zur optischen Achse des Teilchenstrahlsystems;Aufzeichnen eines Bilds der Bulkprobe, während die Bulkprobe in der ersten Orientierung angeordnet ist;Definieren einer ersten Schneidregion auf der Grundlage des ersten Bilds, wobei die erste Schneidregion Ort und Größe eines zu entfernenden ersten Volumens festlegt;Entfernen des ersten Volumens durch Bearbeiten der Bulkprobe mit dem Teilchenstrahl, so dass ein Querschnitt nahe dem VOI geschaffen wird;Anordnen der Bulkprobe in der zweiten Orientierung relativ zur optischen Achse des Teilchenstrahlsystems;Aufzeichnen eines zweiten Bilds der Bulkprobe, während die Bulkprobe in der zweiten Orientierung angeordnet ist;auf der Grundlage des zweiten Bilds der Bulkprobe, Definieren einer zweiten Schneidregion, wobei die zweite Schneidregion Ort und Größe eines zu entfernenden zweiten Volumens festlegt;Entfernen des zweiten Volumens durch Bearbeiten der Bulkprobe mit dem Teilchenstrahl;Definieren einer dritten Schneidregion, wobei die dritte Schneidregion Ort und Größe eines zu entfernenden dritten Volumens definiert,Entfernen des dritten Volumens durch Bearbeiten der Bulkprobe mit dem Teilchenstrahl. A method for preparing a volume of interest from a bulk sample uses a particle beam system configured to accommodate and to image the bulk sample and configured to provide a particle beam for the removal of material from the bulk sample. Moreover, the particle beam system is configured to define trimming regions. A trimming region determines location and size of a volume to be removed from the bulk sample.