Vielstrahl-Teilchenmikroskop mit verbessertem Strahlrohr

Offenbart wird ein Vielstrahl-Teilchenmikroskop. Es weist unter anderem eine Teilchenquelle auf, welche konfiguriert ist, geladenen Teilchen auszusenden, und es weist eine Multiaperturanordnung auf, welche konfiguriert ist, um aus den geladenen Teilchen ein erstes Feld einer Vielzahl von geladenen ersten Einzel-Teilchenstrahlen zu erzeugen. Zwischen der Teilchenquelle und der Multiaperturanordnung ist ein Strahlrohrabschnitt angeordnet, wobei ein Kondensorlinsensystem mit einer Magnetlinse im Bereich des Stahlrohrabschnittes angeordnet sein kann. Der Strahlrohrabschnitt weist Rein-Titan oder eine Titan-Legierung auf oder der Strahlrohrabschnitt besteht aus Rein-Titan oder einer Titan-Legierung. Für die Permeabilitätszahl µRdes Rein-Titans oder der Titan-Legierung gilt µR≤ 1,0005, insbesondere µR≤ 1,00005. Durch diese Maßnahme lassen sich Einzel-Teilchenstrahlen besserer Qualität erzeugen. The invention discloses a multi-beam particle microscope. It comprises, among other things, a particle source 301, which is configured to emit charged particles, and it comprises a multi-aperture arrangement 305, which is configured to generate a first field of a multiplicity of charged first individual particle beams 3 from the charged particles. A beam tube portion 705 is arranged between the particle source and the multi-aperture arrangement, wherein a condenser lens system 303 with a magnetic lens 303a,b can be arranged in the region of the beam tube portion. The beam tube portion comprises pure titanium or a titanium alloy, or the beam tube portion consists of pure titanium or a titanium alloy. For the permeability coefficient µR of the pure titanium or of the titanium alloy, it holds true that: µR ≤ 1.0005, in particular µR ≤ 1.00005. This measure makes it possible to generate individual particle beams of better quality.