Vorrichtung zur Messung der Länge eines Objekts

Eine Vorrichtung (1) zur Bestimmung der Länge eines Objekts (6) unter Durchführung einer optischen Kohärenztomografie, umfassend ein Interferometer mit einer Lichtquelle (2), einem Probenarm (4) und einem Referenzarm (5), wobei das von der Lichtquelle (2) ausgesandte Licht durch einen Strahlteiler (...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Engelhardt, Ralf, Dröge, Gerit, Martensen, Björn, Fritz, Andreas
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Eine Vorrichtung (1) zur Bestimmung der Länge eines Objekts (6) unter Durchführung einer optischen Kohärenztomografie, umfassend ein Interferometer mit einer Lichtquelle (2), einem Probenarm (4) und einem Referenzarm (5), wobei das von der Lichtquelle (2) ausgesandte Licht durch einen Strahlteiler (3) aufteilbar ist, so dass erstes Licht (4a) auf dem Probenarm (4) in Auslauf- und Rücklaufrichtung und zweites Licht (5a) auf dem Referenzarm (5) in Auslauf- und Rücklaufrichtung führbar ist, wobei das erste und das zweite rücklaufende Licht (4a, 5a) zur Interferenz bringbar sind, wobei eine Auswerteeinheit (8) zum Erfassen und Verarbeiten von Signalen des interferierenden ersten und zweiten Lichts (4a, 5a) angeordnet ist und wobei eine Weglängenschalteinheit (13a, 13b) im Strahlengang des Probenarms (4) und/ oder im Strahlengang des Referenzarms (5) angeordnet ist, welche die optische Weglänge des die Weglängenschalteinheit (13a, 13b) jeweils durchlaufenden Lichts (4a, 5a) verändert, ist im Hinblick auf die Aufgabe, die eigentlich miteinander konkurrierenden Ziele hohe Auflösung bzw. Bildqualität und Erzeugung möglichst geringer Datenraten bei der Messung von Längen von Objekten möglichst zu vereinbaren, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Weglängenschalteinheit (13a, 13b) eine optische Weglänge zeitlich alternierend von einem ersten Wert auf einen zweiten Wert verbringt.