Strahlblende, EUV-Lichtquelle und Verfahren zum Betreiben einer EUV-Lichtquelle

Die Erfindung betrifft eine Strahlblende (10) mit einer Blendenöffnung (12) zum Durchlassen eines Laserstrahls (14), einer Umlenkeinheit (16) zum Ablenken eines nicht durch die Blendenöffnung (12) durchgelassenen Anteils des Laserstrahls (14), einer Reflexionseinheit (18) zum Reflektieren der abgele...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Piehler, Stefan
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING MACHINE TOOLS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PERFORMING OPERATIONS SOLDERING OR UNSOLDERING TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Strahlblende (10) mit einer Blendenöffnung (12) zum Durchlassen eines Laserstrahls (14), einer Umlenkeinheit (16) zum Ablenken eines nicht durch die Blendenöffnung (12) durchgelassenen Anteils des Laserstrahls (14), einer Reflexionseinheit (18) zum Reflektieren der abgelenkten Anteile des Laserstrahls (14) und einer Sensoreinheit (20) zum Detektieren des Reflexes (21) der abgelenkten Anteile des Laserstrahls (14). Die Erfindung betrifft auch eine EUV-Lichtquelle (39) mit einer solchen Strahlblende (10), sowie ein Verfahren zum Betreiben einer solchen EUV-Lichtquelle (39). The invention relates to a beam diaphragm (10) comprising: a diaphragm opening (12) for allowing the passage of a laser beam (14); a deflection unit (16) for deflecting a portion of the laser beam (14) not allowed to pass through the diaphragm opening (12); a reflection unit (18) for reflecting the deflected portions of the laser beam (14); and a sensor unit (20) for detecting the reflex (21) of the deflected portions of the laser beam (14). The invention also relates to an EUV light source (39) having such a beam diaphragm (10), and to a method for operating such an EUV light source (39).