PRÄDIKTIVE WARTUNGSSYSTEME UND -VERFAHREN EINER FERTIGUNGSUMGEBUNG

Ein Verfahren zum Überwachen einer oder mehrerer Fertigungskomponenten beinhaltet Clustern von Schwingungsdaten, die der einen oder den mehreren Fertigungskomponenten zugeordnet sind, zum Generieren einer Vielzahl von Clustern, Bestimmen einer Schwingungseigenschaft der einen oder der mehreren Ferti...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Schultz, Brodie, Jalluri, Chandra Sekhar, Bullard, Elizabeth, Springston JR., Howard Lee
Format: Patent
Sprache:ger
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